・体积小巧，重量轻。
・调节螺丝的齿距为0.5mm。
・标准型号还包括面板安装。
・先导排气口和主排气口是分开的。
・适用于洁净室使用（特订产品）。
・精确的压力设定。
・安装简便；可单独使用支架安装，或直接与现有的模块化滤光元件 AF 和 AFM 集成。
方向控制元件
气缸
旋转执行器/气动夹爪
真空用元件
气源处理元件
F.R.L组件/压力控制元件
配管&接头，速度控制阀
传感器/开关
